中微公司首臺Primo Menova 12寸金屬刻蝕設備交付國內頭部晶圓廠
極客網(wǎng)24日訊 中微半導體設備有限公司今日宣布，其自主研發(fā)的Primo Menova 12英寸金屬刻蝕設備首臺機已成功交付國內某重要集成電路制造服務商。該設備采用先進等離子體刻蝕技術，專為金屬Al線/Al塊刻蝕工藝優(yōu)化設計，工藝窗口寬泛，刻蝕均勻性優(yōu)異。
作為晶圓廠金屬化工藝核心裝備，Primo Menova可滿足功率半導體、存儲芯片及先進邏輯器件制造需求。其成功交付標志著國產高端刻蝕設備在金屬刻蝕領域取得重要突破，將有效提升國內晶圓廠在關鍵工藝環(huán)節(jié)的自主可控能力。
行業(yè)分析師指出，該設備量產應用將助力國內客戶突破金屬互連工藝瓶頸，對完善本土半導體產業(yè)鏈具有重要意義。中微公司表示將持續(xù)深化技術創(chuàng)新，為全球客戶提供更具競爭力的半導體裝備解決方案。
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