3月16日消息，據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道，在推出兩代極紫外光刻機(jī)之后，阿斯麥公司又已在研發(fā)下一代極紫外光刻機(jī)，計(jì)劃2022年年初開(kāi)始出貨。
阿斯麥?zhǔn)窃?019年的年報(bào)中，披露他們正在研發(fā)下一代極紫外光刻機(jī)的，計(jì)劃在2022年年初開(kāi)始出貨，2024/2025年大規(guī)模生產(chǎn)。
在年報(bào)中，阿斯麥還披露，他們正在研發(fā)的下一代極紫外光刻機(jī)，將采用 High-NA技術(shù)，有更高的數(shù)值孔徑，分辨率和覆蓋能力較他們當(dāng)前的極紫外光刻機(jī)將提高70%。
光刻機(jī)是芯片生產(chǎn)中非常關(guān)鍵的設(shè)備，在工藝提升到7nm EUV、5nm之后，已只有極紫外光刻機(jī)能滿(mǎn)足要求，阿斯麥則是目前唯一能制造極紫外光刻機(jī)的廠(chǎng)商。
阿斯麥所生產(chǎn)的極紫外光刻機(jī)，光源的波長(zhǎng)縮短到了13.5nm，而極紫外光刻機(jī)之前最先進(jìn)的深紫外光刻機(jī)，使用的則是波長(zhǎng)為193nm的光源。
作為目前全球唯一有能力制造極紫外光刻機(jī)的廠(chǎng)商，阿斯麥已經(jīng)推出了兩款極紫外光刻機(jī)，分別是TWINSCAN NXE:3400B和TWINSCAN NXE:3400C，可用于生產(chǎn)7nm和5nm的芯片，后者是最新推出的，去年共交付了9臺(tái)。
阿斯麥的年報(bào)顯示，他們?nèi)ツ旯蚕蚩蛻?hù)交付了26臺(tái)極紫外光刻機(jī)，較2018年的18臺(tái)增加了8臺(tái)，帶來(lái)了27.997億歐元（折合約31.43億美元）的營(yíng)收。
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