據(jù)臺媒 DigiTimes 報道，臺積電加速先進制程推進，近期擴大釋單，累計 EUV 機臺至 2021 年底將超過 50 臺。
報道指出，相較之下，三星電子（Samsung Electronics）2021 年還不到 25 臺，同時 EUV POD（光罩傳送盒）采購量遠(yuǎn)低于預(yù)期。
IT之家了解到，臺積電 8 月舉行了年度技術(shù)研討會，透露了其在尖端制造實力方面的情況。臺積電占據(jù)了業(yè)界 EUV（極紫外光）設(shè)備安裝量的 50%。此外，臺積電還擁有約 60% 的 EUV 晶圓累計產(chǎn)量。
ASML 是唯一一家生產(chǎn)和銷售 EUV 光刻設(shè)備的公司。按照 Cutress 此前估計，臺積電已經(jīng)從 ASML 購買了 30-35 臺設(shè)備。據(jù)此估算，ASML 已售出約 70 臺機器，到 2020 年底可能會賣到 90 臺。 
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